製品概要
EUVハーフミラーとも呼ばれるEUVビームスプリッタを用いることで、可視光や紫外光と同様にEUV光を透過性分と反射成分とに分割することができます。自立型のMo/Si多層膜からなるこの光学素子は、干渉計の構築やビームモニタとして利用されています。ご要望に応じて、波長13.5 nm域で透過/透過比や入射角などをカスタマイズし提供します。
特長
- ビームスプリッタ部:
- 7x7mm
- フレーム部:
- 14x14mm
- AOI:
- 45deg/6deg
- 中心波長:
- 13.5mm
