製品概要
高次高調波発生によって発生したEUV光を効率的に利用にするためには、EUV光と共軸で伝搬する高強度のポンプ光の分離が必要です。
NTT-AT社のEUVダイクロイックミラーは、薄膜フィルタやブリュースター角型のビームセパレータと比較して高い損傷閾値で、広帯域のEUV光を反射し、可視あるいは近赤外のポンプ光の反射を防ぎます。
800 nm反射防止用の標準品の他、ご希望の波長、ミラーサイズ、入射角などに応じたカスタム品も提供いたします。また、ビーム結合用の両面コート品も提供いたします。
特長
- 斜入射角:
- 12度
- 偏光:
- p偏光
- EUV反射率:
- <2%(800+/-50nm)
- 基盤:
- 石英
