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X線回折格子

製品カテゴリ
メーカ
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製品概要

NTT-AT社製のX線タルボイメージング用位相格子と吸収格子は、高アスペクトSiエッチング技術とAuメッキ技術をもとに作製されており、従来のフォトレジスト格子と比較して十分に高いX線照射耐性を実現します。 また、デブリの発生による測定環境の悪化を低減いたします。

特長

材料（吸収格子）:
吸収部: Au/透過部: Si
材料（位相格子）:
位相変調部: Si
メンブレン:
Si(50um T)
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