製品概要
物質の屈折率が1に近いEUV領域や軟X線領域ではBrewster's角は45度近辺にあります。そのため45度近辺用の多層膜ミラーはs偏光のみに高い反射率を持ち偏光子としても機能します。 この特性を利用し、およそ30 eVから800 eV（1.5 nm - 40 nm）で十分な効率を持つ多層膜偏光子ご提供いたします。
これらの多層膜偏光子は、放射光や高次高調波を用いた物性実験用途の他、EUVリソグラフィなどの産業応用向け基礎研究にもお使いいただいております。
特長
- 基板サイズ:
- 10x10x1mm
- 材料:
- Si
