VCSEL製造用湿式酸化システム 画像

Wet Oxidation System for VCSEL Fabrication

VCSEL製造用湿式酸化システム

型番
VIXEL-320
製品カテゴリ
メーカ

製品概要

VIXEL-320 is a compact stand-alone lateral wet oxidation system intended for the fabrication of Vertical Cavity Surface Emitting Lasers. It is an atmospheric-pressure oxidation system with in-situ monitoring of oxide aperture formation. It accommodates single wafers of up to 150 mm (6″) in diameter.

特長

  • ウェハーサイズ: 150mm(Max)
    ウェーハーチャック径: 175mm(Typ)
  • Wafer Size: 150mm(Max)
    Wafer Chuck Diameter: 175mm(Typ)

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