3D MEMSミラー(1x1mm) 画像

3D MEMS Electro-static Micro Mirror(16x11mm)

3D MEMSミラー(1x1mm)

型番
TM-10-xx
製品カテゴリ
メーカ

製品概要

ドリフト、ヒステリシス、温度依存性が最小限になるように設計した1x1mmの3次元MEMSミラーです。ゴールド、及びアルミの表面仕上げタイプがあります。

特長

  • Actuation Voltage: 44V(Max)
    Actuation Power: 0.5W(Max)
    Reflectivity(900-2000nm): 95%(Min)
    Mirror Size: 1x1mm
    Tilt Angle DC: +/-3.5deg(Typ)
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