Air Bearing, Linear Motor Stage
エアベアリングリニアモータステージ
製品概要
The ABL3600 dual-axis, large aperture, open-frame, airbearing stage addresses the unique needs of scanning microscopy and mask and wafer inspection.
特長
- トータル移動量:
- 250x250mm
- 分解能:
- 0.001-0.2um
- 移動スピード:
- 200mm/s(Max)
- 水平荷重容量:
- 30.0kg
- Total Travel:
- 250x250mm
- Resolution:
- 0.001-0.2um
- Travel Speed:
- 200mm/s(Max)
- Horizontal Payload Capacity:
- 30.0kg
