XYナノポジショニングステージ 画像

XY Nanopositioning Stage

XYナノポジショニングステージ

型番
ANT130XY
製品カテゴリ
メーカ
製品カタログ(PDF)

製品概要

Our ultra-precise ANT130XY stages deliver superior planar performance with excellent geometric characteristics, thanks to an integrated two-axis design.

特長

  • Travel：60×60/110×110/160x160mm（指定）
    分解能：0.5～5nm(Min)
  • Travel: 60×60/110×110/160x160mm(Specify)
    Resolution: 0.5～5nm(Min)
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