X線チャート

PART NO.: XRESO-xx

CATEGORY

オプティクス /
X線オプティクス

SUPPLIER

NTT-AT

SUMMARY

X線顕微鏡は高解像度のイメージング手法として様々な分野で応用されていますが、その評価には十分に高い解像度を持つチャートが必要です。高精細なタンタル(Ta)製の吸収体パタンをSiCおよびSiNメンブレン上に形成したNTT-ATのX線チャートは、世界中の放射光施設などで解像度評価にお使いいただいています。ご用途に合わせ、標準タイプ・厚膜高解像度タイプ・超高解像度タイプの3種からお選びいただけます。 EUV領域用の反射型チャートもご提供いたします。

FEATURES

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