Aerotech
5軸レーザスキャンヘッド
3軸レーザスキャンヘッド
シングルピボット式高速レーザスキャンヘッド
高速レーザスキャンヘッド
高精度レーザスキャンヘッド
2軸レーザスキャンヘッド
T字形ボールねじ直交ロボットシステム
エアベアリングダイレクトドライバガントリーシステム
ダイレクトドライブガントリーシステム(1250x1250mm)
ダイレクトドライブガントリーシステム(1000x1000mm)
ダイレクトドライブガントリーシステム(800x500mm)
ダイレクトドライブガントリーシステム(500X500mm)
高性能ステッパーモータ
ブラシレス回転モータ
リニアモータ(152.0×50.8mm)
リニアモータ(52.0×20.8mm)
2軸SiC平面エアベアリングステージ
エアベアリングリニアモータステージ
エアベアリングダイレクトドライブリニアステージ
インテリジェントソフトベースモーションコントローラ
モーションコントローラ付パルス幅変調サーボドライブ
パルス幅変調サーボドライブ
ヘクサポッド6軸ポジショナ(200kg)
ヘクサポッド6軸ポジショナ(68kg)
ヘクサポッド6軸ポジショナ(45kg)
小型ヘクサポッド6軸ポジショナ(12kg)
小型ヘクサポッド6軸ポジショナ(7.5kg)
ハイブリッドジンバル
低重心ダイレクトドライブジンバル
ダイレクトドライブジンバル
