センシング
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MEMSミラー(4)
ToFセンサ(1)
ひずみセンサ(12)
インテロゲータ(3)
ゲージ(1)
センサアンプ(1)
センサ用FBG(5)
センシング用光源(37)
ポジションセンサ(2)
レーダー(2)
光ファイバコイル(1)
加速度センサ(1)
圧力センサ(1)
変位センサ(1)
慣性センサ(1)
温度センサ(9)
湿度センサ(1)
近接センサ(1)
電界センサ(4)